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受激准分子激光器技术

时间:2022-10-20 18:36:03 来源:网友投稿

Dirk Basting, 2200 South Ocean Lane,

Fort Lauderdale, FL 333163831, USA

Gerd Marowsky, LaserLaboratorium

Gttingen e. v. Germany (Eds.)

Excimer Laser Technology

2005, 433pp.

Hardcover EUR 96.25

ISBN 3540200568

D. 巴斯廷,G.马龙斯基 编

本书旨在提供关于受激准分子激光器基本原理的实用指导和目前受激准分子激光器技术和应用状况。本书略去详细的理论部分,从受激准分子激光器技术:光源、光学系统和应用谈起。由于几位国际上有声望的专家的加盟,更增加了本书内容的丰富性和深刻性。

全书共22章,包括两大部分:基本原理(第2~9章)和应用(第10~22章)。第1章简介;第2章激光物理的基本原理;第3章受激准分子激光原理;第4章受激准分子激光器设计和技术;第5章特殊设计的受激准分子激光器,介绍了高频激光器、大功率激光器和高能激光器;第6章用于缩微平板印刷术的受激准分子激光器;第7章激光束特性;第8章用于受激准分子激光器的光学镀膜;第9章用受激准分子激光器形成的小结构;第10章总论,整体论述了受激准分子激光器的应用领域;第11章微结构的刻蚀;第12章硼硅酸盐玻璃和聚合物的微加工;第13章F2激光微制造用于光子学和生物光子学;第14章飞秒受激准分子激光器脉冲形成的纳米结构;第15章超快紫外激光传输的物理性质;第16章材料改性;第17章受激准分子激光器用于碳和氮化硼高温超导薄膜的沉积;第18章燃烧分析;第19章受激准分子激光器的医学应用;第20章高强度受激准分子激光器的应用;第21章高频受激准分子激光器的应用;第22章新前沿:13.5纳米远紫外技术,讨论了13.5nm激光用于下一代平板印刷。

本书内容丰富,每章内容后都附有参考文献。内容涵盖了原理和应用,不但可以作为从事受激准分子激光器服务和维护的人员的培训纲要,还可供从事相关方向研究的科研人员、技术人员参考,对于初学者以及需要对该领域有完整了解的人都有很大的参考价值。

李少霞,博士生

(中国科学院力学研究所)

Li Shaoxia, Ph.D

(Institute of Mechanics,

the Chinese Academy of Science)

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